等厚干涉是指光线在厚度不均匀的薄膜上时，在薄膜的上下表面分别发生反射，这俩束反射光成为相干光。本文中介绍了OAS中等厚干涉的模型搭建。

简介

等厚干涉的楔形板是由夹角为的两个平面构成的，平行光照射在楔形板表面形成的等厚干涉条纹分布。

案例介绍

本文示例的目标是创建一个等厚干涉的OAS计算模型，并分析干涉条纹。

建模过程

首先搭建一个矩形体，z=2，绕x自转45度，膜层选择半透射半反射膜层，其中：矩形体.up，x和y半孔径为2，z=-0.01。
矩形体.down，x半孔径为2，y半孔径为2，Z=0.05，绕x自转0.05度。
矩形体.left，x半孔径为2，y半孔径为0.01，Y=2，绕x自转90度。
矩形体.right，x半孔径为2，y半孔径为0.01，Y=-2，绕x自转-90度。
矩形体.front，x半孔径为0.01，y半孔径为2，X=-2，绕x自转90度。
矩形体.back，x半孔径为0.01，y半孔径为2，X=2，绕x自转-90度

分析平面

OAS中探测器面为矩形面，x和y半孔径都为2，Y=2，Z=2，绕x自转90度。材料都为air，膜层为全吸收膜层。

创建探测器

OAS中设置相干探测器分析，x和y最小值-2mm，最大值2mm，网格数x和y均为121，视图为XY,分析面选择探测器面。

创建光源

添加GBD光源，空间分布勾选追迹和绘制，空间振幅分布选择圆形超高斯，高斯x和y向束腰半径均为1mm，超高斯阶数30，空间相位分布选择平面，光谱数据单色波长0.8，高斯分解参数选择斐波那契，GB个数900，GB重叠系数2；场采样参数x和y半宽1，x和y采样点数100.