·对标国外主流商业软件
·光通量数据误差<0.005%
技术指标:
波长 0.26612 um
焦距20.8
物距2.05
总长809
二十余片元件,四十多个表面
光刻镜头
·对标国外主流商业软件
·光通量数据误差<0.005%
技术指标:
波长 0.26612 um
焦距20.8
物距2.05
总长809
二十余片元件,四十多个表面